用于測(cè)量低于大氣壓的稀薄氣體總壓力的儀表，又稱真空規(guī)。真空計(jì)的測(cè)量單位沿用壓力測(cè)量單位，壓力的國(guó)際單位為帕(Pa)，曾使用的單位還有托(Torr)和毫巴(mbar)等。

自1643年意大利物理學(xué)家E.托里拆利進(jìn)行大氣壓力實(shí)驗(yàn)以來，先后出現(xiàn)許多種真空計(jì)。最早出現(xiàn)的是Ｕ形管真空計(jì)，它只能用來測(cè)量粗真空和低真空。1874年，H.G.麥克勞發(fā)明的壓縮式真空計(jì)，解決了低真空和高真空的絕對(duì)壓力的測(cè)量，但仍不能進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。1906年，M.皮喇尼發(fā)明電阻式真空計(jì)，解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測(cè)量問題。繼而，O.E.巴克利于1916年又發(fā)明電離真空計(jì)，這在當(dāng)時(shí)不僅解決了10-1～10-5帕的高真空測(cè)量，而且促進(jìn)了油擴(kuò)散泵等真空設(shè)備的發(fā)展和應(yīng)用。1937年，F(xiàn).M.潘寧發(fā)明冷陰極電離真空計(jì)，適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測(cè)量，所以在真空冶金和機(jī)械工業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。1950年，R.T.貝阿德和D.A.阿爾伯特發(fā)明BA式電離真空計(jì)，解決了10-8帕的超高真空測(cè)量問題，從而使真空測(cè)量獲得了突破，并推動(dòng)了超高真空技術(shù)的發(fā)展；而與此有關(guān)的表面物理、核能、航天和大型集成電路等科學(xué)技術(shù)也得到了迅速發(fā)展。1960年以來，相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實(shí)現(xiàn)10-11帕左右的超高真空測(cè)量。

真空計(jì)可分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類。凡能從其本身測(cè)得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接計(jì)算出氣體壓力的稱絕對(duì)真空計(jì)，這種真空計(jì)測(cè)量精度較高，主要用作基準(zhǔn)量具。相對(duì)真空計(jì)主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性（如熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等）與壓力的關(guān)系間接測(cè)量，其測(cè)量精度較低，而且測(cè)量結(jié)果還與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān)。因此相對(duì)真空計(jì)必須用絕對(duì)真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)后方能用作真空測(cè)量。但它能直接讀出被測(cè)壓力，使用方便，在實(shí)際應(yīng)用中占絕大多數(shù)。真空技術(shù)需要測(cè)量的壓力范圍為105～10-11帕，甚至更小，寬達(dá)16個(gè)數(shù)量級(jí)以上，尚無一種真空計(jì)能適用于從粗真空(105～102帕)、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到極高真空（小于10-10帕）的全范圍測(cè)量，因而有多種真空計(jì)。最常用的有U形管真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)、電阻真空計(jì)和冷熱陰極電離真空計(jì)。

U形管真空計(jì)，用以測(cè)量粗真空和低真空的絕對(duì)真空計(jì)。在U字形的玻璃管中充以工作液（低蒸氣壓的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大氣），另一端接被測(cè)真空系統(tǒng)。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測(cè)出被測(cè)真空系統(tǒng)的壓力。

壓縮式真空計(jì)，又稱麥克勞真空計(jì)，是一種測(cè)量低真空和高真空的絕對(duì)真空計(jì)。這種真空計(jì)一般用硬質(zhì)玻璃制成。A是一根與被測(cè)真空系統(tǒng)相連接的開管，D、B為內(nèi)徑相同的毛細(xì)管，V為球泡，其體積遠(yuǎn)大于毛細(xì)管。測(cè)量時(shí)，通過活塞2抽真空，然后用活塞1充氣，使汞儲(chǔ)存器C中的汞上升到覆沒交叉口ΜΜ′，則D、V和B、A內(nèi)的氣體被隔成兩個(gè)區(qū)域。再充氣繼續(xù)提高汞液面，D、V內(nèi)的氣體則進(jìn)一步被壓縮，壓力增高。這樣D、B間存在的壓差可由汞柱高度差來表示。玻璃容器的體積和毛細(xì)管的高度是可精確測(cè)出的，所以用玻意耳定律即可算出被測(cè)壓力。測(cè)量精度較高，在10-3帕?xí)r的精度小于或等于5%。

電阻真空計(jì)，又稱皮喇尼真空計(jì)，是一種測(cè)量低真空的相對(duì)真空計(jì)，主要由電阻式規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。電阻式規(guī)管是在管殼內(nèi)封裝著一條電阻溫度系數(shù)較大的電阻絲，常用的為鎢或鉑絲。測(cè)量時(shí)，規(guī)管與被測(cè)真空系統(tǒng)相接，用一定的電壓、電流加熱電阻絲，其表面溫度可用電阻值來反映，且與周圍的氣體分子的熱傳導(dǎo)有關(guān)，而氣體分子的熱傳導(dǎo)又與壓力有關(guān)。當(dāng)被測(cè)壓力降低時(shí)，由氣體分子傳走的熱量減小，電阻絲表面溫度就增高，電阻值增大；反之，電阻值減小。因此根據(jù)電阻值的大小就可測(cè)量出壓力。

熱陰極電離真空計(jì)，通稱電離真空計(jì)，主要用于高真空測(cè)量。它是由圓筒式熱陰極電離規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。這種規(guī)管與三極電子管相似，有 3個(gè)電極：陰極（燈絲）、螺旋形柵極（加速極）和圓筒形收集極。測(cè)量時(shí)，規(guī)管與被測(cè)真空系統(tǒng)相連。通電后，熱陰極發(fā)射電子，在飛向帶正電位的加速極的路程中與管內(nèi)空間的低壓氣體分子碰撞，使氣體分子電離。電離所產(chǎn)生的電子和離子，分別在加速極和收集極（帶負(fù)電位）上形成電子流Ie和離子流Ii。在被測(cè)氣體壓力低于10-1帕的狀況下，當(dāng)電子流Ie恒定時(shí)，離子流Ii與被測(cè)真空系統(tǒng)中的氣體分子密度（亦即壓力p）成正比。因此，離子流的大小就可作為壓力的度量。這種真空計(jì)的測(cè)量范圍為10-1～10-5帕。

此外，還有測(cè)量上限能達(dá)102帕以上的高壓力電離真空計(jì)。這種電離真空計(jì)在工作時(shí)，陰極發(fā)射的電子撞擊加速極時(shí)產(chǎn)生軟性 X射線，照射到收集極上時(shí)便引起收集極的光電子發(fā)射，因而就在離子流測(cè)量回路中增加一個(gè)與被測(cè)壓力無關(guān)的剩余光電流IX，限制測(cè)量下限的擴(kuò)展。為了減少這種軟 X射線對(duì)收集極的影響，人們又研制出BA式電離規(guī)管。它是將收集極改為針形，并與陰極的位置對(duì)換，這樣使光電流IX大為減少，使壓力測(cè)量下限從10-5帕擴(kuò)展到10-8帕左右，從而解決了超高真空測(cè)量的問題。

冷陰極電離真空計(jì)，一種測(cè)量高真空的相對(duì)真空計(jì)。它由電離規(guī)管和測(cè)量線路兩部分組成。規(guī)管一般由兩塊平行的陰極、一個(gè)環(huán)形的陽極和產(chǎn)生磁場(chǎng)的磁鋼構(gòu)成。在電極之間加有高壓直流電場(chǎng)，而整個(gè)規(guī)管的電極系統(tǒng)又置于垂直電極平面的磁場(chǎng)中。在正交電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下，由低壓氣體分子電離產(chǎn)生的放電電流是被測(cè)壓力的函數(shù)，所以放電電流的大小可作為壓力的度量。

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